集群突围 国产光刻胶的珠海力量

  芯片，被誉为现代科技的“心脏”。而要制造一颗强大的“心脏”，离不开名为光刻胶的核心材料。

  光刻胶是一种感光材料，类似于相机胶卷，一遇到光就有反应。这个看似普通的感光材料，直接影响着终端产品的产能和质量：其分辨率直接决定晶体管密度，性能稳定性关乎芯片良率，化学纯度影响器件寿命。

  能动科技、珦盛新材料、容大感光……3月6日至8日，2025珠海高端化学品产业高质量发展暨电子新材料企业洽谈会召开。会上，珠海市工业和信息化局相关负责人拉出一串长长的光刻胶生产企业名单，展示出珠海的产业优势及雄心。

  今年初发布的《珠海市电子化学品产业高质量发展三年行动方案（2025—2027年）（征求意见稿）》明确：珠海将聚焦目前国产化率较低、市场需求较大的高端光刻胶，力争打造全国顶级规模、技术最先进的光刻胶产业集群。

  黄茅海东岸的珠海经开区精细化工区，华南地区首家干膜光刻胶生产企业——珠海市能动科技光学产业有限公司（下称“能动科技”）静静矗立。

  无尘车间内，身着绿色防尘服、口罩遮面的工人正在恒温恒湿洁净车间里操作设备，一卷卷厚重的干膜光刻胶产品经过多道工序，逐渐成型。成品包装及收发车间里，经历过多层严格检测工序的合格产品，按照客户订单被分切后，打包发送给国内外客户。

  “光刻胶产品对精度和均匀性要求很苛刻，精密涂工厚度的薄与厚都不容易。”能动科技首席战略顾问雷磊拿起一卷成品向记者展示，夹在保护膜中间的光刻胶，超过了人眼能识别的范围。

  经过多年研发，该公司产品最薄能达到15微米以下，相当于头发丝直径的约1/5。

  雷磊介绍，生产的全部过程中对环境洁净度、温度、湿度等条件也很严格，任何微小的污染，都可能会影响光刻胶的应用性能。“每一滴胶液里，都凝聚了无数研发人员的心血和汗水。”

  2011年，能动科技的创始人收购AQUAMER品牌的技术、专利及全球独占性经营权，并启动建厂。然而，该类型光刻胶生产的全部过程中面临着不少难题，除了性能配方外，制造工艺的准确性也直接影响产品在下游计算机显示终端使用的良率。

  “可能今天产出的产品一切正常，第二天再生产，还是同样的工艺，结果却完全不一样了。”雷磊说，“研发团队的每个人心里都绷着一根弦。”

  功夫不负有心人。2015年，能动科技正式投产，首款产品MA315面世。至2022年，能动科技已经实现了光阻干膜和防焊干膜的批量生产，走在了载板专用干膜光刻胶和阻焊干膜两大高端PCB光刻胶国产化替代进程的最前端。

  2024年7月，能动科技走出了国门，在泰国设立首个海外子公司以及大型生产基地。“公司深刻认识到制造成本和物料供应对海外业务的关键性，因此积极寻求与海外人才、厂商合作，共同构建完善的产业链生态圈。”雷磊说。

  未来，能动科技将一如既往地开发生产具有自主知识产权和国际领先技术的光学膜材产品，填补国内技术空白，为实现关键电子化学品材料的高端国产化替代迈出重要一步。

  近年来，伴随着国内电子设备产业的快速的提升，一批国产光刻胶企业也随之诞生，并接连。

  在珠海，除了能动科技之外，珦盛新材料具备实现纳米级厚度的光刻材料涂层技术，正在推进显示面板用和芯片用光刻材料的研发和产业化；大东科技材料主营PCB用树脂干膜光刻胶，具有高产值、低耗能、没生产废水的绿色特质；容大感光的电子电路光刻胶研发、生产、销售名列国际前茅。

  然而，在全球光刻胶市场中，国外企业长期以来占据主导地位。尤其是高端光刻胶的核心原料和配方技术，至今仍然面临日美企业垄断。

  为加快推进我国光刻胶产业高质量发展、突破“卡脖子”技术瓶颈，各地市纷纷出台鼓励性、支持性政策，推动我们国家半导体材料产业的集聚和发展。

  上海设立专项资金，鼓励研发投入与协同创新；江苏南京给予税收优惠、场地补贴等，苏州搭建产业创新平台；广东深圳提供研发资助、贷款贴息，广州补贴企业研发设备购置与人才教育培训；北京搭建公共服务平台，提供技术咨询等服务……

  珠海也不甘居人后，于今年年初发布了《珠海市电子化学品产业高质量发展三年行动方案（2025—2027年）（征求意见稿）》，发挥珠海经开区化工园区的优势，重点发展我国电子化学品“卡脖子”技术和进口替代产品，包括光刻胶及其配套化学品。

  具体而言，珠海将重点围绕现有有突出贡献的公司，积极布局电子束胶、深紫外线光刻胶、极紫外线光刻胶等高端领域产品。聚焦目前国产化率较低、市场需求较大的高端KrF、ArF深紫外线光刻胶，逐步向上游树脂单体原材料、光引发剂、高纯溶剂、助剂等配套化学品领域延伸，力争打造全国顶级规模、技术最先进的光刻胶产业集群。

  珠海能率先聚集一批光刻胶企业，离不开其完善的配套、独特的产业优势以及清晰的发展方向。

  珠海高端化学品产业起步早、起点高。自20世纪90年代以来，以英力士、华润化学、万华化学、长兴工业材料等为代表的一批有突出贡献的公司扎根如今的珠海经开区，形成了从基础化工到精细化工、从研发到生产的完整产业链条以及完备的配套生产要素。

  不仅如此，在广东省六大化工基地中，珠海经开区化工园区是唯一一个没有大炼油和大乙烯的化工基地，走的是高端精细化工以及新材料的道路。

  “能动科技之所以落地珠海经开区，主要是看中其完善的公用工程设施配套。”雷磊介绍，当时具备供应蒸汽条件的园区，在省内也找不到几家。而蒸汽正是能动科技建设绿色工厂，实现生产车间恒温恒湿控制的关键所在。

  为加快聚集前沿科技和创新企业，推动产业发展转变发展方式与经济转型，去年8月，珠海经开区电子化学品产业园真正开始启动，预计达产产值约150亿元。

  该产业园不仅具备蒸汽、天然气、管廊、污水处理、固废回收、危化品仓储运输等配套资源，还特别建设了珠海新质生产力培育基地。

  该基地是珠海市电子化学品行业首个规划建设的中试平台，建成投产后将重点解决高端电子化学品从中试到小批量生产阶段载体需求难题，极大提升园区企业的研发生产效率。对于重资产、重技术的光刻胶产业而言，无疑是一把“利器”。

  “去年经开区实现精细化工产业超900亿元，并锚定了精细化工产业年内产值突破千亿元的目标。”珠海经开区党工委委员、管委会副主任邓剑虹介绍，一方面，园区内已有合成树脂、电子级环氧树脂等各类产业链上下游企业入驻，具有完善的产业链以及供应链优势，成为吸引此类光刻胶企业到经开区落户或扩大生产的重要原因。另一方面，珠海经开区处于粤港澳大湾区的核心区域，企业落户在此可以更贴近消费市场、科技人才。

  具体到企业而言，珠海要打造全国顶级规模、技术最先进的光刻胶产业集群，还需突破“认证壁垒”。

  雷磊介绍，光刻胶的品质会直接影响芯片性能、良率等，任何错误都可能会引起高昂的成本，因此下游的晶圆厂在选择供应商时，往往极其谨慎，要求极为严格。

  “在光刻胶供货前，一般会经过多轮验证，如刻胶性能测试、小批量试产、中批量试产等，才能正式供货，因此下游晶圆厂不会轻易更换光刻胶供应商。”雷磊说。

  他建议，珠海应出面组织相关辖区企业，组建产业联盟，携手实现高水平质量的发展。同时，出台相应的补贴、退税政策，例如给愿意用本土光刻胶产品的下游企业相应补贴，“相信珠海光刻胶产业集群一定会迅速壮大起来”。

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